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准分子激光加工表面轮廓的分形分析

Fractal Analysis of Quasi- Molecule Laser Processed Surface Contour

准分子激光加工是解决MEMS中微摩擦问题的手段之一.通过研究准分子激光加工表面轮廓的分形特性,探索准分子激光加工表面轮廓分析中的应用问题,如分形参数表征和分形插值模拟等.

作 者：
蔡伟群 陈志新  
作者单位：
蔡伟群(东华理工学院)
陈志新(南昌大学机电学院) 
刊 名：
航天制造技术 
英文刊名：
AEROSPACE MANUFACTURING TECHNOLOGY 
年，卷(期)：
2003 ""(3) 
分类号：
TG66 
关键词：
准分子激光加工 知识脉络  IFS 知识脉络  分形 知识脉络 
机标分类号：
TH1 TB9 
机标关键词：
准分子激光加工表面轮廓激光加工表面分形特性摩擦问题轮廓分析参数表征值模拟应用 
基金项目：
 
DOI：
 
参考文献(8条)
  1. 刘莹.温湿铸 微机电系统中微摩擦特性及控制研究 [期刊论文] -机械工程学报2002(03)
  2. Sayles R S.Thomas T R Surface topography as a non-stationary random process 1978
  3. 胡瑞安.胡纪阳.徐树公 分形的计算机图象及其应用 1995
  4. 张维强 活塞销表面分形特性研究 [期刊论文] -农机化研究1999(04)
  5. GantiS.BhushanB Generalized fractal analysis and its applications to engineering surfaces 1995
  6. 李成贵 双分形表面的粗糙度表征及参数计算 1996(04)
  7. 朱华.葛世荣.陈国安 磨合表面形貌变化的分形表征 [期刊论文] -机械工程学报2001(05)
  8. 陈国安 机加工表面轮廓的分形插值 [期刊论文] -中国矿业大学学报1999(02)

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