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準分子激光加工表面輪廓的分形分析

Fractal Analysis of Quasi- Molecule Laser Processed Surface Contour

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doi：
摘要：
準分子激光加工是解決MEMS中微摩擦問題的手段之一.通過研究準分子激光加工表面輪廓的分形特性,探索準分子激光加工表面輪廓分析中的應用問題,如分形參數表征和分形插值模擬等.
作者： 蔡偉群[1]陳志新[2]
Author：
作者單位：
  1. 東華理工學院
  2. 南昌大學機電學院
期 刊： 航天制造技術  
Journal： AEROSPACE MANUFACTURING TECHNOLOGY
年，卷(期)： 2003, (3)
分類號： TG66
關鍵詞： 準分子激光加工 知識脈絡    IFS 知識脈絡    分形 知識脈絡   
機標分類號： TH1 TB9
機標關鍵詞： 準分子激光加工    表面輪廓    激光加工表面    分形特性    摩擦問題    輪廓分析    參數表征    值模擬    應用
基金項目：
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