梁三點彎曲法測量薄膜彈性模量

Measurement of Elastic Modulus of Films by Three-Point Bend Test

doi：

摘要：

用電刷技術在不銹鋼基體一側表面上刷鍍了Cu膜,用電鍍技術在不銹鋼基體一側表面或雙側表面上制備Ni膜.用梁三點彎曲法在自制的設備上測量不銹鋼基體以及不銹鋼基體上不同厚度Cu膜和Ni膜的彈性模量E.研究表明:在測量的膜厚范圍內(7μm～15 μm),Cu膜和Ni膜的彈性模量E不隨膜厚變化,并且接近各自塊材的彈性模量.

作者：	任鳳章周根樹趙文軫鄭茂盛
Author：
作者單位：	西安交通大學金屬材料強度國家重點實驗室,陜西,西安,710049
期 刊：	稀有金屬材料與工程   ISTICEISCIPKU
Journal：	RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING
年，卷(期)：	2004, 33(1)
分類號：	TG115.5 O484.5
關鍵詞：	三點彎曲實驗    薄膜    彈性模量
機標分類號：	TQ1 U44
機標關鍵詞：	三點彎曲法    測量    膜彈性模量    Bend Test    鋼基體    不銹    表面    膜厚    電鍍技術    用電刷    自制    刷鍍    設備    塊材    厚度
基金項目：	國家自然科學基金，高等學校博士學科點專項科研項目