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梁三点弯曲法测量薄膜弹性模量

Measurement of Elastic Modulus of Films by Three-Point Bend Test

用电刷技术在不锈钢基体一侧表面上刷镀了Cu膜,用电镀技术在不锈钢基体一侧表面或双侧表面上制备Ni膜.用梁三点弯曲法在自制的设备上测量不锈钢基体以及不锈钢基体上不同厚度Cu膜和Ni膜的弹性模量E.研究表明:在测量的膜厚范围内(7μm～15 μm),Cu膜和Ni膜的弹性模量E不随膜厚变化,并且接近各自块材的弹性模量.

作 者：
任凤章 周根树 赵文轸 郑茂盛  
作者单位：
西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,陕西,西安,710049 
刊 名：
稀有金属材料与工程  ISTIC EI SCI PKU
英文刊名：
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING 
年，卷(期)：
2004 33(1) 
分类号：
TG115.5 O484.5 
关键词：
三点弯曲实验 知识脉络  薄膜 知识脉络  弹性模量 知识脉络 
机标分类号：
TQ1 U44 
机标关键词：
三点弯曲法测量膜弹性模量Bend Test钢基体不锈表面膜厚电镀技术用电刷自制刷镀设备块材厚度 
基金项目：
国家自然科学基金，高等学校博士学科点专项科研项目 
DOI：
 
参考文献(14条)
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  4. Greek S.Ericson F.Johansson S Mechanical Characterization of Thick Polysilicon Films:Young's Modulus and Fracture Strength Evaluated with Microstructures 1999(09)
  5. Allen M G.Mehregang M.Howe R T Microfabricated Structures for the in Situ Measurement of Residual Stress,Young's Modulus,and Ultimate Strain of Thin Films 1987(04)
  6. El Khakani M A.Chaker M.Jean A Hardness and Young's Modulus of Amorphous α-SiC Thin Films Determined by Nanoindentation and Bulge Tests 1994(09)
  7. Andre Rouzaud.Barbier E.Ernoult J A Method for Elastic Modulus Measurements of Magnetron Sputtered Thin Films Dedicated to Mechanical Applications 1995
  8. 任凤章 查看详情 [期刊论文] -稀有金属材料与工程2001(05)
  9. 任凤章 查看详情 [期刊论文] -稀有金属材料与工程2003(06)
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  11. Baker S P.Nix W D Mechanical Properties of Compositionally Modulated Au-Ni Thin Films 1994(09)
  12. 宿彦京 薄膜力学行为研究 [学位论文] 2000
  13. 林毓锜.陈瀚.楼志文 材料力学 1986
  14. Small M K.Daniels B J.Clemens B M The Elastic Biaxial Modulus of Ag-Pd Multilayered Thin Films Measured Using the Bulge Test 1994(09)

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