超高密度磁記錄用磁頭材料Fe-Co薄膜的研究

本論文采用共濺射的方法制備了Fe-Co合金薄膜，研究了Co93Fe7、NiFe、Fe和Cu等襯底對薄膜結構和磁性的影響，重點研究了Co93Fe7這一襯底薄膜結構和磁性能的影響。得到的結論如下：1.單層Fe-Co薄膜的成分和磁性能這部分主要研究了成分和基板溫度對薄膜磁性能的影響。 基于這部分工作得出以下結論：A在Co含量在30﹪～40﹪at.﹪的成分區域內，薄膜的飽和磁化強度幾乎都有μ0Ms=2.4T大小；基板溫度升高時，薄膜的矯頑力降低很快，飽和磁化強度則有輕微的升高；C.基板溫度在360℃左右時，薄膜的飽和磁化強度和矯頑力有較好的值。Co93Fe7/Fe65Co35型薄膜的結構和磁性能這部分研究了高Co襯底Co100-yFey(0≤y≤11)成分、厚度對薄膜磁性能的影響，以及主層厚度變化時對薄膜磁性能的影響。 　　最終用共濺射的方法成功制備了用于超高密度磁記錄磁頭的、具有高飽和磁感應強度和低矯頑力的FeCo合金薄膜。